等离子体蚀刻机是半导体行业工业生产必不可少的设备:等离子体蚀刻机采用高密度2.45ghz微波等离子技术，家具附着力检测机构在半导体制造中对晶片进行清洗、脱胶和等离子预处理，微波等离子清洗、脱胶具有非常高的且对设备无离子损伤。等离子蚀刻机是微波等离子加工技术的新产品，晶圆灰化设备具有成本低、尺寸适中、
