此外，安徽等离子除胶机作用在双衬底结构下，随着甲烷浓度的增加，C2基团强度增加更为显著，可有效提高金刚石沉积速率；双衬底结构的射频等离子体发生器电子温度更低，粒子间碰撞更强烈，电子温度随气压升高而降低。。射频等离子体清洗机对提高GaAs半导体器件的工作可靠性具有重要作用；GaAs因其优异的光电性能而
