不同的光束条件具有不同的光学特性。快门：在不需要曝光时阻止光束撞击硅晶片。能量检测器：检测光束的入射能量是否满足曝光要求，玻璃达因值测试图片反馈给能量控制器进行调整。标线：内部刻有布线图的玻璃板，成本数十万美元。掩模台：承载分划板运动的装置，运动控制精度在纳米级。物镜：物镜由20个或更多的透镜组成。
