在成分方面，如何提高不处理pe附着力选择正确的反应气体成分非常重要。 PE具有表面改性、清洗速度快、选择性好、有机污染小等优点。缺点是会形成氧化物。 2.等离子清洗机的物理反应主要是清洗表面反应主要是物理反应的等离子清洁剂也称为溅射腐蚀和离子铣削 IM。表面物理溅射是等离子体中的阳离子在电场作用下获
