氩等离子体产生的离子以足够的能量冲击芯片表面，如何增加有机硅树脂附着力与有机污染物和颗粒污染物反应或碰撞形成挥发性物质，从而去除表面上的任何污垢，然后使气流工作4）等离子清洗技术清洗后，打开等离子清洗仓两侧的密封门，装载平台1离开等离子清洗仓，从清洗区B移动到消隐区C；5）机械爪配合传送带将装载平台
