其优点是清洗后没有残留；可防止TEM试样在后期使用时产生污斑；对于(敏)感膜，如何加强油漆的附着力研究用低能量的X光进行微量分析时，不会形成吸收层；在高扩展率下可获得更好的数据；比较真实的表面成像和表面成分分析；成本低、运行简便；即使表面没有污点，也可通过等离子处理优化观察表面。另外，小型plasm
