国内从事GaN外延片的厂商主要有三安光电、赛微电子、海陆重工、晶展半导体、江苏能华和英诺赛科。从事氮化镓器件的厂商主要有三安光电、闻泰科技、赛维电子、聚灿光电和赣照光电。 GAN技术的难点在于晶圆制备工艺,外延片去胶设备欧美日在这方面优势明显。由于熔化 GAN 晶体所需的气体压力非常高,因此使用外延