等离子清洗的优点 等离子清洗的优点： 辉光等离子清洗机的优点 1、等离子清洗后，外延片plasma蚀刻设备待清洗的物体干燥，无需进一步干燥即可送入下一道工序。可以提高整个工艺线的加工效率。 2.等离子清洗避免了有害溶剂对人体的伤害，避免了被清洗物容易被湿法清洗的问题。 3.避免使用 ODS，例如三氯
