随着等离子体注入功率的增加,如何增加漆膜的附着力C2H6转化率迅速增加,这是由于当等离子体能量密度增加时,等离子体中电子能量和电子密度均随之增大,高能电子与H2发生非弹性碰脱撞概率增加,因此产生活性物种概率增加,导致C2H6转化率增加,其他生成产物所需的各种CHx及C2Hx自由基浓度增加,促进了C2