因此，增加附着力的等离子体作用于固体表面后，固体表面原有的化学键可以被打破，等离子体中的自由基与这些键形成网络交联结构，极大地激活了表面活性。。在半导体、LCD等产品的制造过程中，可以使用等离子清洗机对表面进行清洗，也可以改善其表面，如去除残留的光刻胶、污染物、溢出的环氧树脂等，还可以使用等离子清洗
