例如，四氟乙烯附着力O2等离子体氧化性高，可氧化光刻胶反应产生气体，从而达到清洗效果；刺激性气体的等离子体具有良好的各向异性，以满足腐蚀的需要。等离子体清洗机在处理过程中会发光，称为电弧放电处理。等离子清洗机技术的一大特点是可以处理金属、半导体材料、氧化物和高分子材料，如聚丙烯、聚酯、聚酰亚胺、聚氯
