在具体的诊断过程中，嘉兴真空等离子清洗机生产厂家探针相对于地的偏置电压为VB,而此时等离子体跟地相对的电位为φp。当探针电压Vb=φp时，探针处于跟等离子体一致的电位，此时它收集到的电流主要来自易动的电子。当增加Vb并使其超过φp时，电流将趋于饱和而达到电子饱和电流值，但电流
