等离子处理机广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子晶圆去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子活化和等离子表面处理等场合。本实用新型等离子处理装置提供一种等离子处理装置，喷粉附着力跟温度有关包括具有空腔的外壳和设置在空腔内部的电极板，电极板的内部设有供冷却流体介质流动的流路。 .ing.优选地，所述冷
