本文研究并设计了在线等离激元分离分清洗装置的真空室和物料运输中的有效防损卡，喷塑影响附着力实现了在线等离子清洗设备的全线匹配，满足了IC封装生产工艺规模化生产的要求，大大提高了封装的可靠性。在技术普及和集成电路制造过程中，40%的成本用于封装，因此集成电路封装成为全球独立的封装测试产业。它与集成电路
