5）真空等离子体设备清洗可处理多种材料，亲水性和截留率的关系无论是金属、半导体、氧化物还是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等聚合物），特别适用于不耐高温、不耐溶剂的材料，同时可选择性地对整体、局部或复杂结构进行局部清洗。6）清洗采用真空等离子设备，避免了清洗液的运
