等离子清洗机蚀刻机台厂商八仙过海推出各种适用三维结构的蚀刻技术。对于等离子体而言，各种塑料达因值一般可以用电子能量分布(EED和离子能量分布(IED)两大主线来表征。EED通常控制电子温度、等离子体度和电子碰撞反应，而IED则是控制离子轰击晶圆表面能是优化蚀刻形與和降低晶圆损伤的关键。目前已推出的商
