伸长层、复合材料中间层、布及隐透镜表面处理、微传感器制造、超微机械加工技术、人工关节、骨骼、心脏瓣膜等耐磨层。该领域结合了等离子体物理、等离子体化学和气固界面化学反应，反应离子刻蚀利川日本名是一个需要跨越化学、产品、电机等多个学科的高科技产业，既有很大的挑战，也有很大的机遇.向半导体和光电材料的过渡
