..等离子等离子清洗机，去胶设备股用于表面处理和除胶具有高频和微波能量的弱电解质、氧离子、游离氧分子O、氧原子和电子混合物在高频工作电压下与光刻薄膜发生反应：O2→O*+O*、CxHy+O*→CO2↑+反应完成后除去H2O↑、CO2和H2O。 2）等离子等离子技术去胶：以真空等离子清洗机为例。技术创
