反应室内含有离子、电子、自由基等活性物质的等离子体的气体辉光放电，厦门真空等离子清洗的旋片罗茨式真空泵批发通过扩散吸附在介质表面，与介质表面的原子发生化学反应，形成挥发性物质。 .同时，高能离子在一定压力下对介质表面进行物理冲击和蚀刻，以去除再沉积的反应产物和聚合物。介电层的蚀刻是通过化学和物理的联
