DI第一阶段采用高纯N2产生等离子体，玻璃清洗的方法与步骤将印制板一起预热，使聚合物数据处于一定的活化状态；第二阶段以O2和CF4为原始气体，混合后产生O、F等离子体，与丙烯酸、PI、FR4和玻璃纤维反应，达到去除污垢的意图；第三阶段选择O2作为原始气体，产生的等离子体和反应残留物使孔壁清洁。在等离
