d紫外线辐射对污染物的破坏。由于等离子处理每秒只能穿透几（纳）米厚，金属附着力促进剂选用故事污染层不能太厚。指纹也适用。2.氧化物去除:金属氧化物会与正确处理的蒸汽发生化学反应。正确处理应使用氢或氢与氩的混合物。有时候还选用两步处理。第1步先用氧气氧化表层5分钟，第2步用H2和Ar的混合物去除氧化层
