自金属硬掩模图案蚀刻在大型等离子清洗机将被用作槽蚀刻掩模层,完整性和关键尺寸的图案蚀刻金属硬掩模层将传播(超)低介电常数材料,并通过槽腐蚀金属线形成。金属硬掩膜层刻蚀后的图形设计为传输图形保真度，金属蚀刻片刻蚀后的关键尺寸偏差会受到负载效应的影响，会被后续刻蚀槽继承甚至由于刻蚀槽的负载效应会继续加大
