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半导体等离子设备(深圳半导体等离子洗清装备厂家)

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PEF真空等离子机的处理室结构通常使用耐腐蚀不锈钢电极和PTFE外壳,半导体等离子设备以及碳电极和陶瓷外壳,但它们的耐腐蚀性仍然未知。加工室设计还必须满足高压绝缘要求。此外,处理室的结构设计需要仔细考虑样品的电场分布以及流体和温度场的分布。 20年来,我们一直致力于真空等离子设备的研发和制造。如果您