能量探测器：检测光束终究入射能量是否契合曝光要求，北京等离子设备清洗机生产商并反馈给能量操控器进行调整。 掩模版：一块在内部刻着线路规划图的玻璃板，贵的要数十万美元。 掩膜台：承载掩模版运动的设备，运动操控精度是nm级的。 物镜：物镜由20多块镜片组成，主要作用是把掩膜版上的电路图按份额缩小，
