国外等离子干法刻蚀(PCVD)等表面改性步骤的研究进行PC模拟研究,等离子体刻蚀设备用的电源模拟PCVD工艺,并使用宏观和微观多层次实体模型,使用多种等离子工艺、涂层模拟和预测各种特性和基材的结合力。表层渗流层的性能应力由PC模拟。这使您可以更好地控制和优化过程。在 20 世纪的半个世纪中,物理学思