考虑到含电子气体的温度远高于含中性粒子气体的温度，分子量和基材附着力的关系因为非平衡等离子体中电子的能量分布与重粒子的能量分布不同，两者都处于不平衡状态。我可以.粒子和离子。通过这种方式，可以诱导高能电子通过碰撞激发气体分子，或者使气体分子解离和电离。上述过程产生的自由基可以分解污染物分子。等离子体
