激准分子激光是紫外光照射，亲水性改性加过氧化氢直接破坏树脂基层的结构，使树脂分子分散，产生的热量非常小，这样就可以将孔周围的热损伤程度限制在小范围内，使孔壁光滑垂直。如果激光束进一步缩小，可以加工直径为10 ~ 20 μ m的孔。当然，板材厚度孔径比越大，湿镀铜就越困难。受激准分子激光打孔存在的问题
