低温等离子表面处理是一项全新的高新技术，它利用等离子体达到了常规清洗法所不能达到的效果。等离子体是一种物质状态，也叫第四态。把足够的能量加到气体上，使其离化便变成等离子状态。等离子中的“活性”成分包括：离子、电子、活基、激发态(亚稳态)和光子等。低温等离子表面处理机就是利用这些活性成分的性质对样品表
