考虑到气体的电离电场强度超过部分电场强度，介质刻蚀气体选择在转弯半径小的前电极附近，气体被电离并激发，发生电晕放电。产生电晕时，在电极附近可以看到带有恶唑声的光。等离子电晕放电可以是相对稳定的放电方式，也可以是不平衡的电场间隙。渗透工艺开发的早期阶段。 2. 等离子介质势垒放电 等离子介质势垒放电（
