等离子清洁器的实用性主要取决于许多因素，干附着力的影响因素包括化学成分、工艺参数、功率、时间、组件放置和电极配置。各种清洗目的所需的设备结构不同，连接电极的方法和反应气体的种类不同，工艺原理也大不相同。有物理反应、化学反应、物理化学反应。反应效果取决于等离子气源、等离子清洗系统和等离子处理的操作参数
