还具有表面平整、有机清洗、表面活化、降低平均粗糙度、增加表面极性、提高功函数等功能。由于 ITO 可能与有机薄膜直接接触,什么单体玻璃表面附着力好因此表面有机污染物含量、薄层电阻、表面粗糙度和功函数等 ITO 表面性质对器件的整体性能和表面变化起着重要的作用。 ITO 的特性会影响 OLED 的性能