这完成了湿通道并形成了亲水-疏水区域。系统：微观水平 O2) 或研究化学反应和室温下的液体流动压力：0.1 – 1.0 MBAR 发生器：13.56 MHZ，亲水性隐形车衣功率 50 – 300 W处理时间：10-60秒。PDMS Plasma Cleaner Bonding的关键工艺：鉴于半导体技
