RF等离子处理器的等离子室中的氮氢等离子体（-NH2、-NH、N等）与钛表面碰撞，钛表面越光滑亲水性越差使钛-氧键断裂，产生的氢等离子体为表面：部分在表面. 氧化钛，即纯钛，暴露在等离子体气氛、高能氮和氢等离子体中。它与钛复合形成新的键，如 Ti-NH2、TiN 或 TiN、NO。由于 H 的减少，
