等离子表面处理设备的特点是不损伤工件本身，亲水性纤维有什么还可以提高产品质量，降低产品成本等优点。相信通过我们的介绍，一定对等离子体表面处理设备有了进一步的了解。。等离子体清洗设备侧壁刻蚀对器件的影响；等离子体清洗设备偏压侧壁宽度对器件性能有重要影响。直接影响是侧壁下的源漏寄生电阻(RSD)与侧壁宽
