氧等离子体处理后，亲水性材料的润湿边角是薄膜中的氧空位或间隙铜原子增加，导致带负电荷的氧基团解吸导致电阻率下降，自由载流子浓度增加。衬底经等离子体处理后，溅射铜原子或原子到达衬底表面的频率增加，其能量明显增强。沉积在衬底上时，有足够的能量结晶迁移，因此自由载流子的迁移率也较高。所形成的薄膜更致密，粒
