除四氟化碳（CF4）外，亲水性成分用什么萃取等离子清洗机中常见的工作气体还有氢气（H2）、氮气（N2）、氧气（O2）、氩气（Ar）等。金属、半导体、氧化物和大多数聚合物材料在等离子清洗过程中很容易发生反应。其中，物理反应机制是活性颗粒与待清洁表面碰撞，将污染物从表面分离出来，最后被真空泵吸走。化学反
