等离子清洗技术通常是在等离子体处理设备、衬底放置在底座上,在真空系统通过不同的混合气体,在金属电极射频电压将电离气体,形成等离子体,以非常快的速度达到ITO衬底粗糙的小疙瘩,和清洁环境气体、水蒸气和污垢吸附在表面，界面聚合中亲水性小分子使表面清洁和活跃。等离子体处理后的ITO表面形貌分析表明，ITO
