达到一定真空度后，亲水性和粗糙度的关系引入反应气体，反应气体电离形成等离子体，与晶圆表面发生化学物理反应，产生的挥发性物质被抽走，使晶圆表面清洁亲水。1.用于清洗晶圆的等离子清洗机：1-1：晶圆的等离子清洗在0级以上的洁净室中进行，对颗粒要求极高。任何颗粒超标都会在晶圆上造成无法弥补的缺陷。目前，亲
