中性粒子和离子的温度为102K~103K,云南小型真空等离子电子能量对应的温度高达105K。这被称为“非平衡等离子体”或“冷等离子体”并且是电中性的(准中性)。自由基和离子具有高度反应性,它们的能量足以破坏几乎所有的化学键,从而在暴露的表面上引起化学反应。等离子体中粒子的能量一般为数至数十电子伏特,