被激发的自由基具有很高的能量，二氧化硅蚀刻氟碳化物当与表面分子结合时，它们往往会形成新的自由基。新形成的自由基也处于不稳定的高能状态，当它们变成容易发生分解反应的分子时，同时产生新的自由基，这个反应过程继续进行，最终分解成水和碳二氧化...一个简单的分子类别。另外，当自由基与表面分子结合时，会释
