冲头油等被二氧化碳和水迅速氧化，二氧化硅蚀刻设备用真空泵抽出，对表面进行清洁，达到提高渗透性和附着力的目的。冷等离子处理只涉及材料的表层，不影响材料的整体性能。由于等离子清洗是在高真空下进行的，因此PLASAM中的各种活性离子具有非常长的自由度，具有很高的渗透性和渗透性，可以处理细管、盲孔等复杂结构
