等离子体清洗的机理主要是与材料表面的反应，等离子表面处理机电话分为两类：一类是颗粒的化学作用，主要是自由基活性颗粒；另一种是粒子的物理作用，主要是正离子和电子。气体放电产生的等离子体中有电子、正离子、亚稳态分子和原子。当通过清洗室浸入等离子体中时，等离子体中的化学活性粒子与材料表面的污染物发生反应。
