1、氩气清洗:氩气清洗原理是对表面进行物理轰击。氩气在物理上是有效的，二氧化硅干法刻蚀中掺入氧的作用分别是什么因为它有一个大的原子尺寸，能够穿透产品的表面层与大量的能量。正的氩离子被吸引到负极板上，冲击力使表面上的所有污渍消失，气态污染物就会随着泵排出。2、氧气:与产品表面的化学物质发生有机化学反应
