首先了解了电晕化学气相沉积金刚石薄膜的成核过程，薄膜电晕处理检测一般分为两个阶段：含碳基团到达衬底表面，然后分散到衬底内部；第二阶段是碳原子以缺陷和衬底表面金刚石亚晶为中心到达衬底表面的成核生长；基体数据：由于成核取决于基体表面的碳饱和度和至芯的临界浓度，因此基体数据的碳弥散系数对成核有重要影响。当
