工艺整合对于铜通孔蚀刻工艺的要求如下:(1)符合要求的等离子电浆清洗机蚀刻后关键尺寸，与金属附着力好的粘合剂是以及优良的尺寸均匀性，以保证接触电阻的均匀性、稳定性。(2)通孔要具有良好的圆整度，不可以有条纹状的开口形状，否则会严重影响电路的可靠性。(3)介电材料蚀刻对于蚀刻停止层具有足够的选择比，这
