2.真空等离子体处理设备中的真空室：1）不锈钢真空室；2）石英腔。三。真空泵：1）干式泵；2）油泵。以上就是小编介绍的真空等离子体处理设备，不锈钢蚀刻工艺有何优点通过对样品物体表面的清洗，对光刻胶进行清洗、改性和灰化。。如何排除真空等离子清洗机使用中遇到的故障？真空等离子体清洗机实际上是一个表面处理
