2.等离子真空 将通过等离子清洁器的气体引入真空室并稳定室内压力。根据清洁剂的不同，达因值是怎么测的可以使用氧气、氩气、氢气、氮气、四氟化碳和其他气体。氧等离子体处理是常用的干法刻蚀方法之一。氧气（可能与氩气混合）用于处理铝、不锈钢、玻璃、塑料和陶瓷的表面。 3.等离子真空通过在等离子清洗机的真空室
