利用等离子处理时会发出辉光，上海真空等离子处理机批发故称之为辉光放电处理。辉光放电时，在放电两极电场的作用下，电子和正离子分别向阳极、阴极运动，并堆积在两极附近形成空间电荷区 。因正离子的漂移速度远小于电子，故正离子空间电荷区的电荷密度比电子空间电荷区大得多，使得整个极间电压几乎全部集中在阴极附近的
