在半导体生产过程中，油漆附着力检测机构几乎每一道工序都需要进行清洗，晶圆清洗的质量对器件性能有严重影响。正是由于晶圆清洗是半导体制造工艺中重要且频繁的一步，其工艺质量将直接影响器件的良品率、性能和可靠性，因此国内外各大公司和研究机构对清洗工艺的研究不断进行。等离子体清洗作为一种先进的干洗技术，具有环
