等离子清洗设备和工艺以其在健康、环保、效益、安全等诸多方面的优势逐步取代湿法清洗工艺，三菱树脂对五金材料附着力特别是在精密件清洗和新半导体材料研究和集成电路器件制造业中，干式等离子体清洗应用前景广阔。以下物质以等离子体状态存在：快速移动的电子、活化的中性原子、分子、自由基、电离的原子和分子、未反应的
